Dėl puikių keraminių dalių savybių, tokių kaip atsparumas aukštai temperatūrai ir atsparumas korozijai, jos dažnai naudojamos įvairiose puslaidininkių raktų įrangoje. Puslaidininkių keraminės dalys yra puslaidininkinės keraminės rankos, keraminiai substratai, keraminiai purkštukai, keraminiai langai, keraminės ertmės dangteliai, porėtos keraminės vakuuminės puodeliai ir kt.
1. Puslaidininkinė keraminė ranka
Vykdant puslaidininkių įrangą, tvarkant vaflius reikia keraminių ginklų, nes silicio plokštelės negali būti užterštos, todėl paprastai jos atliekamos tikroje oro švarioje aplinkoje. Vakuuminėje aplinkoje dauguma mechaninių ginklų, paruoštų kitomis medžiagomis, negali atitikti reikalavimų, todėl reikia naudoti keramines svirtis, turinčias aukštos temperatūros atsparumą, atsparumą dilimui ir dideliam kietumui. Paprastai žmonės, norėdami paruošti keraminę ranką, naudoja aukšto grynumo aliuminio oksido, silicio karbido. Šios dvi žaliavos turi didelį kietumą, atsparumą dilimui ir aukštai temperatūros atsparumą bei kitas fizines savybes - yra keraminės rankos puikios medžiagos paruošimas. Palyginti su šiomis dviem medžiagomis, keraminės rankos, pagamintos iš silicio karbido, našumas yra geresnis nei aliuminio oksido keraminės rankos. Tačiau, palyginti su medžiagų kainos ir apdorojimo sunkumų aspektais, keraminė rankena, pagaminta iš aliuminio oksido, yra ekonomiškesnė, o aliuminio oksido keraminė ranka paprastai naudojama daugiau.
2. Keraminis substratas
Keraminis substratas daugiausia naudojamas skirtinguose elektroniniuose pakavimo laukuose, tokiuose kaip elektroninės elektroninės prietaisų pakuotės, lazerio pakuotė, šviesos diodų diodų pakuotė, termoelektrinės šaldymo pakuotė, aukštos temperatūros elektroninės prietaisų pakuotė, kita galios prietaisų pakuotė. Kadangi bendroji medžiaga negali atlaikyti aukštos temperatūros, normaliomis aplinkybėmis, elektroniniame pakavimo procese naudojamas šilumos laidumas ir šilumos atsparumas, didelis stiprumas, didelis keraminių produktų patikimumas. Žmonės, norėdami paruošti keraminius substratus, dažnai naudoja aliuminį oksidą, silicio nitridą ir kitas medžiagas.
3 keraminis purkštukas
HDP-CVD reakcijos dujos patenka į reakcijos kamerą per keraminį purkštuką, jungiantį kameros vidų ir išorę, todėl purkštuko kokybė tiesiogiai lemia reakcijos dujų grynumą ir srautą. Aliuminio oksidas ir aliuminio nitridas dažniausiai naudojami keraminiams purkštukams paruošti. Kadangi aliuminio nitridų keramika turi geresnį šilumos laidumą ir šiluminio smūgio atsparumą nei aliuminio oksidas, purkštukai nesukels priemaišų taršos dėl plazmos korozijos ir nesukels priemaišų taršos dėl šiluminės deformacijos, kurią sukelia surinkimo dalių susidėvėjimas. Tai užtikrina, kad purkštukai nekelia jokios priemaišų užteršimo reakcijos dujose ir reakcijos kameroje rizikos ir gali geriau patenkinti taikymo reikalavimus pažengusio proceso HDP-CVD įrangoje.
4. keraminiai langai
Keraminis langas yra pagrindinis komponentas, plačiai naudojamas puslaidininkių ėsdinimo mašinose. Kaip kamerinės danga ėsdinimo mašinoje, jis naudojamas plazmos ėsdinimo mašinose. Jis yra tarp ėsdinimo mašinos kameros ir plazmos sukabinimo ritės. Jis skirtas RF (radijo dažnio) ir mikrobangų energijai perduoti į plazmos ėsdinimo kamerą, priešindamasi atšiaurios plazmos ėsdinimo aplinkos erozijai. Efektyvūs keraminiai langai turi mažų nuostolių kampo liestinės vertės (didelis pralaidumas) esant RF ir mikrobangų krosnelėms. Jei ne, energija gali būti absorbuojama ir paverčiama per daug šilumos, taip pablogindama procesą (RF energijos praradimą) ir komponentą (per daug šilumos ir šiluminio gradiento). Rengiant šį produktą dažniausiai naudojamos dvi pažangios keraminės medžiagos, turinčios didelio grynumo aliuminio oksido ir YTtrium oksidą, ir produktus, kurie atitinka taikymo reikalavimus, gali būti užpildomi griežtai formuojant, sukepinant ir apdorojant apdorojimo bei paviršiaus purškimo procesus.
5. Keraminės ertmės dangtis
Keraminės ertmės danga yra integruotas nepriklausomas funkcinis komponentas, įskaitant keraminį kupolą, aušinimo sistemą ir elektrodų valdymo sistemą. Tai yra vienas iš pagrindinių 40 nm ir žemiau esančių plonų plėvelių nusodinimo įrangos komponentų, o jo našumas yra labai svarbus siekiant užtikrinti vaflių kokybę. Keraminės ertmės danga yra uždengta viršutine vaflio dalimi, o CVD prietaiso ertmė yra uždaroma, kad susidarytų uždara kameros aplinka. Antenos nariai, kurių ritės aplink varpo dangtelį, gali naudoti aukšto dažnio galią, kad sudarytų sukeltą elektrinį lauką, kad būtų galima generuoti ICP (plazmą), ir įvesti jį į kamerą per keraminės ertmės dangą, kad būtų galima atlikti vienodą jonų apdorojimą ir apsaugoti sklandų progresą iš nusėdimo filmo. Keraminio kameros dangtis vaidina pagrindinį vaidmenį sandarinant, vidinį ir išorinį slėgio skirtumą bei švarą reakcijos kameroje ir yra vienas kritiškiausių pagrindinių CVD įrangos komponentų.
6. Keraminis vakuuminis čiulptukas
Dauguma keraminių komponentų, dažniausiai naudojamų puslaidininkių prietaisuose, yra tanki keramika, tačiau vakuuminis čiulptukas yra porėtas keramika. Puslaidininkinės medžiagos silicio plokštelės yra plona, kieta ir trapi medžiaga, kurios abi pusės turi būti sumaltos ir šlifuotos, ir tt Žmonės paprastai naudoja vakuuminių siurblių puodelius, kad surastų ir užfiksuotų tokį ruošinį. Tradicinių medžiagų paruošto vakuuminio čiulptuko našumas dažnai neatitinka naudojimo reikalavimų. Patobulinę inžineriją ir technologijas, žmonės dažniausiai naudoja keramines medžiagas, kad padarytų vakuuminį čiulptuką. Dažniausiai naudojamas vakuuminis čiulptukas yra porėta struktūra, pagaminta iš dviejų keraminių medžiagų, sujungtų kartu. Porėta keraminė plokštė yra sumontuota ant pagrindo priešakinės skylės, kuri yra surišta ir užklijuota pagrindu, kuri yra apdirbta iš tankios keraminės medžiagos, kuri kvėpuoja. Nors dviejų dalių medžiagos yra skirtingos, jų atsparumas dilimui ir mechaninės savybės yra panašios. Dėl to vakuuminis čiulptukas atitinka naudojimo reikalavimus.
Puslaidininkių keraminiams produktams yra daug, mes galime pateikti produktus pagal jūsų poreikius, pasveikinti jūsų konsultacijas.
